設(shè)備啟動前進(jìn)行下列檢查和調(diào)試：

1、檢查設(shè)備接地是否可靠，電氣部分是否正確。

2、取下電機(jī)上彈性聯(lián)軸器，啟動電機(jī)，檢查電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)方向與真空泵殼體旋轉(zhuǎn)箭頭方向是否一至，然后再裝上聯(lián)軸器。

3、檢查真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)方向與箭頭方向是否一致（詳見真空泵使用說明書）。

4、檢查有關(guān)部件的連接螺釘是否擰緊，特別是真空系統(tǒng)的連接螺釘。

5、檢查各轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的傳動是否靈活，有無卡滯。

6、打開蒸發(fā)室，對蒸發(fā)室內(nèi)壁和內(nèi)部零件進(jìn)行清潔，檢查蒸發(fā)室內(nèi)各電極接線是否正確。尤其注意電阻蒸發(fā)電極是否與防污板相碰。

7、對蒸發(fā)室試抽真空，檢查是否能達(dá)到應(yīng)達(dá)到的真空指標(biāo)。

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